采用SAW传感器用来检测工业有毒有害气体等无机小分子,检测原理主要是通过敏感膜电导率的变化,使SAW的传播速率、频率等发生改变来进行检测。质量负载和弹性模量的变化也会对SAW的传播速度产生一定的影响,根据传感器的结构设计和敏感膜材料的区别,不同的影响因素会占到主导地位。于海燕等采用YZ-LiNbO3为压电基片,利用旋涂的方法在SAW器件的延迟线通道上制备了酞菁铜掺杂的聚乙烯吡咯烷酮敏感薄膜,提高酞菁铜在聚合物中的比例可以明显地提高薄膜的电导率,通过对SAW传感器在未沉积薄膜、沉积PVP薄膜以及沉积酞菁铜掺杂的聚合物薄膜后引起的中心频率偏移说明,延迟线涂覆导电聚合物薄膜后电导率的变化是传感器中心频率漂移的主要因素。A.J.Ricco等在LiNbO3基底上设计了SAW双通道延迟线结构的传感器,通过真空升华的方法在其中一条延迟线上镀上酞菁铅薄膜,另一条延迟线用来对温度和压力进行补偿。酞菁铅的电导率随着NO2的浓度变化而发生改变,控制传感器的工作温度为80℃,经过实验证明,传感器在进行检测NO2时,频率的变化主要是由敏感膜酞菁铅的电导率变化引起的。
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